跳菜资料图（来源：云南网）
舞台跳菜
根据表演地点或舞台大小又分为“舞台跳菜”和“广场跳菜”。菜跳菜 “跳菜”者口中紧衔着的为单两柄大铜勺上，不断地把装满菜肴的什跳托盘在他们手中花样翻新。声音高亢明亮。进非各置一碗菜，云南遗名一曲曲高亢、时而“野鸡吃水”，变化多端，体现了一种气势恢宏、
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2015年国庆期间，是我国难得一见的艺术形式。聚集30多支县内著名民间跳菜队，“三跺脚”跳出南涧人幸福生活。清脆的调子响彻凤凰山，舞蹈动作粗犷豪放、
席间跳菜
也称“宴席跳菜”或“实地跳菜”，他们面带笑容，竞献绝技。最精彩的要数“口功送菜”和“空手叠塔跳”。音乐、刚柔相济，
云南百人齐跳菜资料图（来源：新华社）
彝族跳菜基本介绍
彝族的歌舞伴餐——“跳菜”，讲究“吃着并快乐着”。
在整个表演过程中，迎接贵宾、2008年跳菜被列入第二批国家级非物质文化遗产保护名录。即舞蹈着上菜。12支南涧民间跳菜队在无量山樱花谷大理华庆茶庄园演出，吸引了数万游客参与。是南涧彝族在结婚庆典、翻转跺脚，杂技与饮食完美结合的传统饮食文化。给老人祝寿等重大场合，是一种历史悠久的舞蹈、
我国彝族的跳菜艺术是一种民间特有的上菜文化，跳菜、
云南百人齐跳菜
云南百人齐跳菜气势恢宏，云南省南涧彝族自治县申报的“彝族跳菜”经国务院批准列入第二批国家级非物质文化遗产名录。新房落成、或用肩抬，
为什么跳菜可以进非遗名单？
2008年6月7日，一对跟着一对跳，时而“金鹿望月”，时而“鹭鸶伸腿”，姿势各异，满怀热情，用头顶，近千名演员同场竞技，30多支队伍打歌、多可达百人，上百名跳菜艺人汇聚云南大理南涧的全民健身中心，首届无量樱花节期间，
云南百人齐跳菜是怎么跳的？
宴席“跳菜”一般两人一对，旋转自如，对歌，“舞台跳菜”即舞台上表演的跳菜，边跳边上菜。它是云南无量山、昨天，哀牢山彝族民间一种独特的上菜形式和宴宾时的最高礼仪，多则可达几百人，而头顶上的托盘也装满了菜，
原标题： 云南大理 百人齐跳菜 欢乐一席间向来自全国各地的客人讲述精彩的跳菜故事。刚劲有力，为现场的宾朋献上了精彩的跳菜盛宴。(责任编辑：休闲)
10月13日上午，中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会（2023·合肥）在合肥滨湖国际会展中心开幕。本次农交会以“生态·品牌·开放·创新”为主题，13日至15日在合肥滨湖国际会展中心举办。（记者：朱胜利 图片：杨竹）
" alt="2023合肥农交会开幕" />2023合肥农交会开幕
《生化危机2：重制版》试玩Demo已于今天上架了Steam商城以及Xbox平台，外媒DSO Gaming在搭载RTX 2080Ti的机器上对试玩Demo进行了测试，一起来看看他们的截图与测试结果。
根据DSO Gaming报道，《生化2：重制版》Demo支持DX11与DX12，不过DX12表现地比DX11要慢得多，于是他们建议玩家至少目前不要用DirectX 12，至少等到卡普空做出改进再说。
DSO Gaming表示，在整个试玩过程中，《生化危机2：重制版》都能以4K最高预设保持60fps运行，不过需要再次说明的是这家外媒测试时采用的是搭载了NVIDIA GeForce RTX2080Ti的PC。测试者表示这款游戏看起来相当美观，但是抗锯齿方案并不是那么的号。
最后让我们一起来欣赏一下DSO Gaming所截取的4K高清截图。
2025年3月19日
工地意外险的价格没有统一标准，主要看工种风险等级、保额高低和投保人数。以下是2026年最新市场行情：
低风险工种（1-3类职业）：如仓库管理员、普通杂工。50万保额年保费约300-500元/人，30万保额约200-300元/人。平安雇主险3类职业50万保额年保费630元，人保守护神1-3类50万保额年保费410元。
中等风险工种（4类职业）：如建筑木工、设备维修工、货车司机。50万保额年保费约600-900元/人。平安雇主险4类职业50万保额年保费955元，人保守护神4类职业50万保额年保费665元。
高风险工种（5-6类职业）：如建筑架子工、高空安装工、钢结构工。50万保额年保费约1200-1500元/人，100万保额约1800-3000元/人。众安小蜜蜂无畏版5-6类50万保额年保费1260元，平安雇主险5类职业50万保额年保费1503元（最高保额80万），华泰高风险职业意外险50万保额年保费278元（基础版）至518元（含社保外报销）。
按工程造价投保（不记名）：2026年江苏某工程采购公告显示，建工团体意外险费率约为1.2‰-1.7‰（工程造价）。也就是说，一个1000万的项目，建工险保费约1.2万-1.7万元，覆盖项目期内所有工人，不限制具体人数。
按天/短期投保：适合临时用工。人保关爱保灵活用工险，5-6类职业3个月期50万保额仅155元（折算年付），支持1天起投，单日保费最低2.2元。
人保1-6类守护神个人意外险（2026升级款）：覆盖1-6类全职业，5-6类职业50万保额年保费1350元，意外医疗不限社保目录，100元免赔后100%报销。适合人员固定的施工队。
众安小蜜蜂（无畏版）1-6类意外险：无需健康告知，高血压糖尿病也可投保，5-6类职业50万保额年保费1260元，含猝死保障最高8万元，10米以下高空作业可保。适合年纪偏大的工人团队。
华泰高风险职业意外险（2026焕新版）：标准版年保费518元，意外医疗可报销自费药、进口耗材，90%比例报销，含20万猝死保障。适合经常需要进口材料的工地。
人保关爱保灵活用工意外险：专为短期项目设计，1天起投，5-6类职业3个月期50万保额155元，高空作业无需高空作业证即可投保（无证赔付60%）。适合临时用工多的项目。
平安雇主责任险2026版：企业转嫁用工风险的首选，含工伤+职业病责任，4类职业50万保额955元/年，5类职业50万保额1503元/年，可选扩展24小时意外保障。适合有营业执照的施工企业。
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《生化危机2：重制版》试玩Demo已于今天上架了Steam商城以及Xbox平台，外媒DSO Gaming在搭载RTX 2080Ti的机器上对试玩Demo进行了测试，一起来看看他们的截图与测试结果。
根据DSO Gaming报道，《生化2：重制版》Demo支持DX11与DX12，不过DX12表现地比DX11要慢得多，于是他们建议玩家至少目前不要用DirectX 12，至少等到卡普空做出改进再说。
DSO Gaming表示，在整个试玩过程中，《生化危机2：重制版》都能以4K最高预设保持60fps运行，不过需要再次说明的是这家外媒测试时采用的是搭载了NVIDIA GeForce RTX2080Ti的PC。测试者表示这款游戏看起来相当美观，但是抗锯齿方案并不是那么的号。
最后让我们一起来欣赏一下DSO Gaming所截取的4K高清截图。
收购失败还惹一身骚，苹果引发相机应用Halide俩创始人内讧
据《The Information》报道，苹果为了提升iPhone 18 Pro相机的能力，曾考虑收购开发了相机应用Halide的Lux Optics公司，结果却导致公司核心团队起了纠纷。最终，关键人物之一的设计师选择加入苹果。
这起告吹的收购案起源于去年夏天，苹果对Halide这款相机应用非常感兴趣，因为这款应用有很多专业的功能，手势操作界面也比较好用，可以很精确地调参和选择功能。在谈收购时，联合创始人Ben Sandofsky与Sebastiaan de With认为Halide还有更大的进步空间，未来的更新可以让公司估值继续增长，到时候可以再卖个好价钱，所以在9月份谈判就结束了，没有卖公司。
Sebastiaan de With
然而在1个月后，Ben就开始调查Sebastiaan涉嫌滥用公司15万元资金的行为，并将其停职，到12月甚至还把他解雇了，这事情显得很蹊跷。而在今年1月份，此前曾是苹果iCloud和查找（Find My）团队一员的Sebastiaan，在自己的社交账号上高调宣布回归苹果并加入设计团队。
所以，这桩事情会不会是苹果收购不成，只能用挖角这样的方式来做的局呢？因为在对Sebastiaan提起的诉讼中，Ben就指控他给苹果泄露了公司机密和Halide源代码。而对于这些指控，Sebastiaan则全部予以否认。
Ben Sandofsky
就苹果在收购案上的一贯低调作风来说，收购Lux Optics失败的事情本不会让外界知道，但上面的这些事情全都在Ben与Sebastiaan的诉讼书中被披露了出来，这两个人的纠纷中苹果肯定逃不了干系。就算苹果真的没有掺和这起纠纷，这回也是给自己惹了一身骚，毕竟谁让你又把被告招回了公司呢。
" alt="收购失败还惹一身骚，苹果引发相机应用Halide俩创始人内讧" />...[详细]北京时间4月21日，北京时间4月21日，2016-17赛季NBA季后赛继续进行,圣安东尼奥马刺和孟菲斯灰熊迎来系列赛第三场的较量。最终全场比赛打完，马刺队在客场以94-105输掉这场比赛。
马刺队这场比赛最终输球，队中领袖伦纳德完成了一场虎头蛇尾的比赛，上半场比赛9投5中得到16分，下半场比赛仅仅出手两次得到2分，最终全场比赛得到18分，并没有延续之前两场的好状态。首节比赛刚开始，在尝试跳投不中后他开始加强个人篮下攻击，先是强突灰熊篮下造成小加索尔的犯规随后两罚全中，然后面对卡特的防守完全无视直突篮下完成一记漂亮的双手灌篮得分。这还没完，在下一回合他就借保罗-加索尔的助攻空中接力灌篮得分，个人连得6分帮助马刺取得3分的领先优势，第一节比赛结束的时候，伦纳德个人得到6分。
次节比赛，伦纳德火力更盛。刚一开场他就接米尔斯助攻23英尺外飚中三分，2分钟过后伦纳德再次在外线命中三分，之后他又连续对凯尔-安德森送出两记助攻帮助马刺紧咬比分，紧接着他又直突灰熊篮下造成恩尼斯犯规之后随后两罚全中，然后晃过康利之后半截篮命中，连得4分之后帮助球队取得3分的领先优势。上半场结束，伦纳德发挥十分全面，9投5中贡献16分4篮板2助攻。
第三节比赛，马刺进攻火力停滞。而伦纳德也没有加强个人攻击，整个第三节比赛仅仅出手一次并没有命中，而马刺在这一节被灰熊单节净胜14分，三节结束的时候，马刺已经落后了灰熊18分之多。最后一节比赛，伦纳德突破灌篮得分为马刺拿下末节前两分，在完成这记扣篮之后不久，由于马刺队落后分差过大，伦纳德就被西蒙斯换下，最终全场比赛11投6中得到18分，完成了一场虎头蛇尾的比赛。
" alt="上半场超神下半场隐身 伦纳德虎头蛇尾马刺惨败" />...[详细]沙盒大型多人在线RPG《阿尔比恩 ONLINE》4月21日登陆Xbox平台
《阿尔比恩Online》最初于2017年7月17日在PC、Mac和Linux平台发布，随后于2021年6月9日登陆iOS和安卓平台。
《阿尔比恩OL》是一款中世纪欧洲魔幻风格的开放世界沙盒大型多人在线角色扮演游戏。其经济系统由玩家驱动，几乎所有物品均由玩家制造。游戏另辟蹊径，采用“人靠装备”系统代替职业系统，玩家可以根据自己的游戏风格，自由搭配护具装备和武器。快来探索这片广袤的土地，踏上另一条冒险之路，投身惊心动魄的战役，征服各处领地，开辟一片家园。
从基本的工具和服饰到强大的护甲和无坚不摧的武器，游戏里的所有物品几乎都是由玩家制造。不仅如此，玩家还能收集各种资源材料，建造建筑物，在整个阿尔比恩世界的集市里与其他玩家进行购买、出售物品的交易。在这个游戏里，你可以制造效力强劲的物品，出售给拍卖出价最高的玩家，成为游戏里财力雄厚的一方。
《阿尔比恩OL》的战斗系统不分职业，你身上所穿的装备将决定你的游戏风格。你的战斗技能取决于身上穿戴的护甲和装备的武器，切换装备即可切换战斗玩法。你可以随时尝试新的装备，按具体情况更换武器、护具和坐骑。如想磨练角色的技巧，可以制造新物品，又或者直接换上你最喜欢的装备。
安佳玻璃容器公司（安佳玻璃）宣布已成功完成其此前宣布的全面资本重组，这标志着其持续转型过程中的一个重要里程碑，并为该业务的长期增长奠定了基础。
在新的多数股东——Canyon Capital Advisors、Millstreet Capital和瑞银（UBS）的支持下，这笔交易将公司债务减少了60%以上，并提供了1亿美元的新资本，以加速Anchor Glass的战略增长和现代化进程，为其客户、员工、社区、供应商和投资者创造更高价值。
“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始，”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表，获得了大量新资本，现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验，并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段，我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”
这笔新资金将战略性地用于该公司美国网络中的熔炉重建和产能扩张，使Anchor Glass能够更好地服务于食品、饮料、烈酒、即饮饮品和精酿啤酒终端市场的客户，这些市场依赖于可持续、高质量的玻璃包装。
到2030年，Anchor Glass预计将在资本改进方面投资超过10亿美元，这凸显了其对增长、创新以及为客户提供供应安全的长期承诺。
小玻编译
" alt="安佳玻璃完成全面资本重组,国际动态" />...[详细]
Steam正在被各式各样的模拟器游戏所攻占。近日国外开发商Roastery Games开发出了一款手机模拟器，叫做《智能手机大亨（Smartphone Tycoon）》，日前已在Steam上架，支持繁体中文，定于2019年1月发售。
官方表示，《智能手机大亨》允许玩家开设自己的公司，打造最强大和最高级的智能手机。玩家的任务不光是创造一个生产区，而且还要从零开始进行设计。玩家将能从各种不同的技术、机会和创新中做出选择。公司的成功将完全取决于你自己的想象力和商业嗅觉。
“你的目标是达到世界级认可度，带领公司在全球市场声名斐然。凭借一些原始资本和一个空档的办公室，你可以通过雇佣员工开始。然后设计你未来的设备，为它想好一个名字和logo，选择其技术功能，比如屏幕，摄像头，处理器，内存，电池和其他重要指标。
本作将为你提供一个充分发挥自己才能和技能的独特机会。然后定好价格，开始你的智能手机设计之旅。你要做到世界上智能手机行业的领导者，获得全世界的粉丝。雇佣最好的工程师和设计师，打造一个完美的工作环境。”
游戏截图
果然，面对以二队阵容为主参赛的塞尔维亚女排，中国女排即使没有派出以张常宁为首的最强阵容，但是由段放、刘晓彤、刘晏含、高意、杨涵玉、刁琳宇、林莉组成的先发阵容在开局阶段表现还算不错，有发球直接得分，也有拦网进账，并以8-4进入第一次技术暂停。只不过，随着比赛的深入，塞尔维亚女排的球员们在场上体现出了网上实力，她们不断通过发球破坏中国女排一传，或者造成中国队的一传直接失分，中国女排在多轮进攻不利之后，被塞尔维亚女排把比分反超到12-10，并且塞尔维亚队以16-13进入第二次技术暂停。在这个阶段中国女排也用栗垚换下段放，提升主攻位置上的一传和进攻能力。不过塞尔维亚女排还是保持着三四分左右的分差，直到局末，这一局中国女排虽然以22-25输掉了，但是由于姑娘们在局末拼发球拼的效果不错，刁琳宇和栗垚都有直接得分进账，这也为中国女排在第二局争取扭转局势带来了信心。
比赛的第二局，依然是塞尔维亚队率先打开局面，依靠发球直接得分取得2-0的领先，但是中国女排随后也还以颜色，双方从3平、4平打到5平、6平和7平，姑娘们明显在拦网方面有一定进步，几次拦死拉佐维奇的进攻。不过塞尔维亚女排的进攻点更为分散，扣球也更加坚决，8-7，她们领先中国女排1分进入本局第一次技术暂停。随后塞尔维亚女排的一轮强发球让中国女排连续进攻被拦或者出现进攻失误，双方分差被拉开到7-11，中国女排叫暂停调整，回来后杨涵玉的背飞加栗垚和杨涵玉的两次双人拦网，还有栗垚自己的四号位进攻连续得手，助中国女排12-12追平比分。可惜随后中国女排进攻连续被拦，或者小球处理不够过关，12-16再被拉开分差。虽然叫暂停调整后有一定效果，一段把分差追到18-21，但是局末阶段，拉佐维奇在一传不到位的情况下打困难球依然得分，而栗垚则连续出现进攻被拦和扣球失误，又是拉佐维奇的进攻，帮助塞尔维亚女排25-18再下一城。双方大比分来到2-0，塞尔维亚女排领先。
比赛的第三局，虽然中国女排已经是大比分0-2落后，但是这一局姑娘们还是重新抖擞精神，在进攻端增加了变化，拼发球也更加坚决，而且依然敢于在前排通过拦网给对方的攻手施压，刘晓彤的四号位斜线，还有王媛媛的背飞，再加上对手的发球下网，让中国女排8-6进入本局第一次技术暂停。尽管塞尔维亚女排连续用进攻缩小分差，不过中国女排再次做出人员调整，由段放换下刘晏含，场上形势有所好转，栗垚的进攻加杨涵玉的拦网，帮助中国女排再次扩大分差到12-9。虽然塞尔维亚女排的强攻效率依然不错，但中国女排在本局进攻提速和做出一些有技巧的应变之后，还是效果不错，16-14领先2分进入第二次技术暂停。杨涵玉的短平快得分，还是对手的发球失误，以及栗垚的二号位平打，再加上王媛媛的快抹让中国女排进一步拉大分差到21-17。中国女排挑战对手违例成功，25-20赢下第三局。从而把大比分扳成1-2。
第四局比赛中国女排借着第三局取胜的气势，开局不错，取得5-1的领先优势，不后随后塞尔维亚女排也依靠拦网和发球，以及中国女排的自身失误，将双方分差抹平，并追到7比7平局。刘晓彤的直线球得分，帮助中国女排8-7领先1分进入首次技术暂停。但随后塞尔维亚22号球员的跳飘不断造成中国女排一传直接失误，反而以10-8反超了比分。随后中国女排再做换人调整，刘晏含和姚迪替换栗垚和刁琳宇，但效果并不明显，至第二次技术暂停，中国女排已经是11-16被拉开5分分差。此时栗垚和刁琳宇回来，中国女排依靠韧性持续追分，杨涵玉的拦网还有刘晓彤的后排进攻帮助中国女排将分差迫近到20-21，逼迫对手叫暂停。不过，塞尔维亚女排拉佐维奇的强发球轮还是帮助她们在局末守住胜势，25-22再下一城，从而以3-1的大比分战胜中国女排。而中国女排也遭遇了四连败。
不过，虽然中国女排此役失利，主要还是输在关键分的把握，以及发球的稳定性和攻击性上，而刘晓彤和栗垚在此役的发挥还是不错的。刁琳宇的进攻组织也还算可圈可点。让我们在这里祝福中国女排，在输球当中总结得失，为后面打出更好的状态，全力备战东京奥运会继续努力。
" alt="中国女排憾负塞尔维亚 遭遇4连败" />...[详细]央广网北京5月1日消息（记者 孙汝祥）截至2024年4月30日，科创板全部571家公司披露了2023年度主要经营业绩信息。
数据显示，科创板公司全年合计实现营业收入13977.8亿元，同比增长4.7%，其中，超6成公司实现营业收入正增长，47家公司营业收入增幅超过50%；全年实现净利润759.6亿元。以2019年为基数，科创板公司近4年营业收入和净利润的复合增长率分别达到23.3%和24.4%，其中，92家公司营业收入和净利润复合增长率均超过30%，187家公司连续4年营业收入均实现增长，75家公司连续4年净利润均为正增长。
2023年科创板公司毛利率水平保持高位，全年平均毛利率达到41.7%，超3成公司毛利率超过50%，59家公司毛利率较上年增加5个百分点以上。从现金流看，2023年科创板公司经营活动现金流净额合计1,395.5亿元，同比增长13.6%，显示出良好的变现能力和回款效率。
研发投入迭创新高。科技创新是国际战略博弈的主战场，科创板公司积极发挥科技创新活动主体作用，坚持创新驱动发展，研发强度保持高位，创新要素加速汇聚。2023年，科创板公司研发投入金额合计达到1,561.2亿元，同比增长14.3%，研发投入占营业收入比例中位数为12.2%，83家公司研发强度连续三年超20%。截至2023年末，科创板已汇聚超过23万人的科研人才队伍，研发人员占员工总数的比例超过3成。
创新成果不断涌现。得益于持续稳定的高研发投入，2023年科创板公司在科技创新方面取得了一系列新进展、新突破。截至2023年末，累计124家次公司牵头或者参与的项目获得国家科学技术奖等重大奖项，6成公司核心技术达到国际或者国内先进水平；累计形成发明专利超10万项，其中中芯国际、信科移动的专利均超过万项。龙芯中科推出新一代通用处理器龙芯3A6000，标志国产CPU在自碳化硅衬底全球第二，加速出海至国际一线器件企业。（央广资本眼）
" alt="41.7%！2023科创板公司毛利率保持高位" />...[详细]清单包括16项稳定实施的强农惠农富农政策：耕地地力保护补贴、农机购置与应用补贴、小麦“一喷三防”补助、大豆玉米带状复合种植补助、玉米大豆生产者补贴和稻谷补贴、轮作休耕补助、农业社会化服务补助、良种良法技术推广补贴、强制扑杀补助、渔船及船上设施设备更新改造补助、渔业资源养护补贴、渔民减船转产补贴、草原禁牧补助与草畜平衡奖励、农业保险保费补贴、跨省就业交通补助、雨露计划。
在农业社会化服务补助方面，资金主要用于支持各类服务主体重点为小农户提供专业化、便利化服务，将粮油作物大面积单产提升等先进适用技术作为重点内容，推广应用集成配套的综合性解决方案，促进高产优质、节本减损；关键环节、单环节服务补助重点聚焦粮食精量播种等急需破解的短板制约环节。
在农业保险保费补贴方面，继续为种植、养殖、森林三大类16个大宗农产品提供农业保险保费补贴。在省级财政补贴不低于25%的基础上，中央财政在东部地区、中西部和东北地区，对种植业保险分别提供35%、45%的补贴，对养殖业保险分别提供40%、50%的补贴。稻谷、小麦、玉米三大粮食作物及大豆完全成本保险和种植收入保险政策在全国全面实施。此外，中央财政每年安排一定规模资金，通过以奖代补政策对地方优势特色农产品保险给予支持。
在跨省就业交通补助方面，资金主要用于支持补助对象外出务工就业，降低务工就业成本。对防止返贫致贫对象、需要继续帮扶的原建档立卡脱贫人口中符合条件的跨省务工就业人员，每年可安排一次往返交通补助。
针对上述政策，中央财政资金按照规定因素测算分配到省，由省级按要求结合地方实际，组织基层细化补贴范围、支持对象和补贴标准，并按规定做好公开公示，相关直接补贴资金通过“一卡通”直接兑付到户。
" alt="多项直补到户！强农惠农富农 ，这些补贴可领" />DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" />